中古 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9277849 を販売中

KLA/TENCOR 6400 Surfscanは、高精度の測定と正確な結果を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。最新の自動リトグラフィックアライメント技術を特長とし、0。2nmの分解能まで測定可能です。システムは16x200mmのワーキングエリアを備えており、ウェーハ全体で同時測定するために最大4つのグレーティングを保持できます。プリエッチング測定とポストエッチング測定の両方に最適で、欠陥やウェーハ品質の詳細な分析が可能です。KLA 6400 Surfscanは、欠陥解析および計測アプリケーションに最適な高度に自動化されたツールです。それは最小限のオペレータの努力との速く、正確な測定を提供します。このユニットは、開口部とプロファイルの両方を測定するために高度な光学技術を使用しており、スキャン時間を最小限に抑えるために革新的な高速スキャンモーションモジュールを使用しています。また、統合されたウエハコントロールツールを備えており、一貫したウエハワークフローを確保します。自動化された機能に加えて、アセットは革新的な直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。これにより、最も経験の浅いユーザーでも簡単に操作できます。すべての測定値は専用のデータエリアに保存され、後でデータ分析を簡単に取得できます。TENCOR 6400 Surfscanはまた、IO/Dataポートを提供しており、測定を他のデバイスに転送してさらなる分析を行うことができます。6400 Surfscanは、欠陥検出および計測アプリケーション向けの信頼性の高い精密ツールです。高度な光学設計、精密測定、使いやすい設計により、自動試験および計測に最適です。このモデルは、オペレータの介入を最小限に抑えながら、一貫したウェーハ作業フローを確保しながら、高精度な結果を提供するように設計されています。