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KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN
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KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN #9105698
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KLA / TENCOR

4500 / 5500 SURFSCAN

Particle inspection systems, 6" - 8" 4500: up to 6" at .21 micron 5500: up to 8" at .20 micron.
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