中古 KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN #9105698 を販売中

KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCANは、電気、光学、化学パラメータの分析に業界をリードする精度と解像度を提供する最先端のウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェーハ、薄膜基板、マスク、フォトマスクの欠陥の検出および監視に使用されます。KLA 4500/5500 SURFSCANシステムは、自動ウェハマッピング、欠陥検出、詳細な解析、欠陥のレビューと分類など、さまざまな試験および計測プロセスで強力なアプリケーションを提供します。このユニットは、光学、電気、または化学試験のいずれかのオプションを使用して構成することができ、さまざまなアプリケーションで多目的な性能を提供します。TENCOR 4500/5500 SURFSCANマシンのハイエンド光学試験装置は、ウェーハの表面全体を検査し、市場で入手可能な他のどの技術よりも細かい欠陥や特徴を検出するための高度なアルゴリズムを使用しています。さらに、アクティブ構造の電気特性を測定するように設計されたさまざまなプローブを備えた電気試験ツールを提供しています。このアセットは、ウェーハの表面の特徴をスキャンして画像化するなど、高度な計測目的にも使用できます。さらに、4500/5500 SURFSCANモデルは、欠陥レビューとフィーチャー分析を容易にする多数の機能とツールを提供します。例えば、スキャンおよびレビューモジュールは、ユーザーがピクセルレベルまで機能を検査できるようにズーム機能を提供します。さらに、ウェーハ全体の詳細なデータ分析と比較のための欠陥レポートと分析を自動生成することができます。KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCANは、ウェーハ設計を最適化し、製造歩留まりを改善し、迅速で包括的な検査機能を提供するための最先端技術を提供します。強力なパフォーマンスと高度な機能を備えたKLA 4500/5500 SURFSCANは、高度なウエハテストおよび計測アプリケーションに最適です。