中古品 HITACHI (イオン注入装置＆モニター) を販売中
イオン注入は半導体製造において極めて重要なプロセスであり、大手メーカーである日立製作所は、さまざまなイオン注入器とモニターを提供しています。イオンインプラントは、イオンを半導体材料に正確に導入し、その電気特性を改善し、複雑な集積回路を作成することができるように設計されています。日立製作所の注目すべきイオンインプラントの1つは、高精度で柔軟性のあるIP825Aです。高度なビームスキャンシステムと複数のエネルギーレベルを備えているため、さまざまな半導体材料に精密なイオン注入が可能です。このIP825Aはまた、イオンビームの優れた安定性と均一性を保証します。当社が提供するモニターは、イオンビーム特性を継続的にモニタリングすることにより、イオンインプラントを補完します。これらのモニタは、イオン電流、エネルギー、ビームプロファイルに関するリアルタイムデータを提供し、オペレータがイオン注入プロセスを正確に制御し、最適な性能と歩留まりを保証することができます。そのひとつが、高速・超高感度測定機能を搭載したHITACHI IMN4Xモニタです。イオンビーム特性に関する詳細な情報を提供し、イオン注入プロセス中に迅速に調整し、生産のダウンタイムを最小限に抑えることができます。当社のイオンインプラントとモニターの利点は、高精度、信頼性、柔軟性です。その高度な機能と優れたビーム制御機能により、半導体品質の向上、デバイス性能の向上、製造効率の向上を実現します。
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