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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON

Antares CX

Wafer cleaning system 2008 vintage.
76
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60
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Cryokinetic cleaning system, 12" Main body System resource module (2) Process modules (3) Load ports
281
FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9169544

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Cryokinetic cleaning systems, 8"
74