中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9169544 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CXは、マイクロエレクトロニクス機器のエッチングとパターニングに特化したフォトリソグラフィ機器です。このシステムは、フォトマスキング技術とサブウェーブ分解能フォトリソグラフィを組み合わせて、タイトで複雑なデバイス構造を作成します。その中核には、光に敏感な材料であるレーザーとフォトレジストを採用しています。レーザー光の右の波長にさらされると、フォトレジストは反応して小さなパターンを基板にエッチングします。フォトレジストはさらにステッピングステージ、パターニングのために完全にフォトレジストを整列させるために基板がX-Y-Z方向に移動することを可能にする精密機械アセンブリによって支えられます。FSI Antares CXは極端な精度を可能にします。それは25nmのように小さい副波長の形およびパターンをパターン化する機能を備えています、それは高度のマイクロエレクトロニック構造の作成にとって理想的です。機械で使用されるレーザーはまた地形図の測定が可能で、それを大きい細部とエッチングすること容易にします。さらに、このツールは、2つの回路要素間の導電性ブリッジの存在を作成するための二重露光リソグラフィを実行することができます。TEL Antares CXには、ビームスキャン、フォトレジスト処理、パターニングの全工程に対応できるソフトウェアコンポーネント「Sortimos」も搭載しています。このソフトウェアは、レーザースキャン速度、レーザーパワー、露光時間を自動的に制御して、最も正確で一貫した結果を得ることができます。ソフトウェアは、ユーザーがさまざまなフォトレジストタイプの適切な露出時間を決定するのを助けることもでき、ワークフローを大幅に合理化します。Antares CXは、ミクロンレベルのデバイス構造エッチング用に設計された高度なフォトリソグラフィ資産です。レーザー、フォトレジスト、精密な機械変位を利用して、25nm程度の小さな複雑な構造を正確にパターン化します。「ソルティモス」ソフトウェアは、プロセス全体の精度と一貫性を確保するのに役立ち、TOKYO ELECTRON ANTARES CXは微細化とデバイス構造の作成に最適な選択肢です。