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CANON FPA 3030 EX6 #293817806
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CANON

FPA 3030 EX6

i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.50-0.65 Resolution: 150 nm DCO:  ≤25 Throughput (WPH): 60.
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CANON FPA 3030 EX6 #293817783
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FPA 3030 EX6

KrF stepper Numerical Aperture (NA): 0.50.-0.65 Throughput (WPH): 200 DCO:  35 Resolution: ≤150 nm.
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