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ASML PAS 5500 / 8TFM-A #293817846
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ASML

PAS 5500 / 8TFM-A

Stepper Numerical Aperture (NA): 0.55-0.80 DCO:  8 MMO: 17 Resolution: 110 nm Throughput (WPH): 25.
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ASML PAS 5500 / 8TFM-A #293817844
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PAS 5500 / 8TFM-A

Stepper Numerical Aperture (NA): 0.55-0.80 Resolution: 110 nm DCO:  8 MMO: 17 Throughput (WPH): 25.
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