中古 LEITZ MPV-SP #9283672 を販売中
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ID: 9283672
ウェーハサイズ: 3"-8"
Automatic Film thickness measuring system, 3"-8"
System Configuration:
Stand alone Microscope type: Ergolux AMC
Periplan Ocular GF 10x / 18
Objective:
NPL Fluotar 10x / 0.22 DF
L 20x / 0.20
PL 50x / 0.60
NPL Fluotar 50x / 0.60 DF
NPL Fluotar 100x / 0.90 DF
Laser autofocus
Motorized, 8"
X/Y Stages
With SCAN 2000 electronics and software
Interface for RS232, IEEE or SECSI (optional SECSII)
Wafersize from 3" to 8"
Illuminator Modulopak / 1
Computer: HP Vetcra 3 Pentium desktop
with 19" TFT Flat Screen monitor
System Specifications:
Spectrometer: Grating monochromator with grating constant 1200/mm
Detector: Hamamatsu type R 928 (S 20) photomultiplier
Spectral range: 220-800nm, reduced to 400-800nm for film thickness measurements
Spectral resolution: < 1 nm
Reproductibility of the spectral measurement: < 1 nm
Linearity error for spectral measurement: < ± 1 nm
Time for film thickness determination cycle: 6-20 seconds
Film thickness measuring range: 10 nm to 15µm
Lamp power supply stabilization: <0.1%
Operating conditions:
Working temperature from 15 to 35 °C
Measuring temperature 22 ± 2°C
Relative humidity < 75%
Electrical data:
Mains supply: 115/230 V, 50/60 Hz
Voltage tolerance: ± 10%
Power consumption: 600 VA maximum.
LEITZ MPV-SPウェーハ試験および計測装置は、25ナノメートルのウェーハの欠陥を検出および測定するために設計された精密機器です。このシステムは、自動化された計測および検査システムを使用して、高精度な結果を迅速かつ正確に生成します。MPV-SPは業界トップクラスの精度とスループットを提供します。自動メトロロジーユニットは、再現可能な結果と自動検査を保証するために10軸電動デカルト型ロボットを使用しています。また、2つの顕微鏡を組み合わせてウェーハ全体をイメージし、ウェーハのエッジとコーナー、パターン領域のインダイのデータポイントをキャプチャします。これにより、標準的な計測システムよりも詳細な解析が可能になります。LEITZ MPV-SPウェーハテストと計測ツールは、さまざまなウェーハテストアルゴリズムとプロセスを備えています。2種類のセンサを使用でき、Linear Scanning （LSI）とStaired Scanning （SSI）の両方の技術を使用して欠陥を検出できます。このアセットは、幅広い欠陥を検出し、フォームファクタ、平坦度、エッジ配置精度などの正確なパラメータを測定できます。複数のテストを同時に実行することができ、手動の方法で必要な時間のほんの一部で正確で信頼性の高い結果を提供します。計測モデルは非常に柔軟性があり、ユーザーは特定のニーズを満たすためにテストと分析プロセスをカスタマイズすることができます。MPV-SPには直感的なユーザーインターフェイスも備えており、操作とセットアップが簡単です。この装置は強力な欠陥解析とレポート機能を備えており、生産ライン分析に不可欠なツールとなっています。LEITZ MPV-SPウェーハ試験および計測システムは、ウェーハ市場向けに高精度の測定および検査機能を提供します。ウェーハの欠陥を検出し、測定するための貴重なツールです。信頼できる正確な結果と直感的なユーザーインターフェースを備えたMPV-SPは、あらゆるウェーハメーカーやサプライヤーにとって必須の製品です。
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