中古 LEITZ MPV-SP #9127939 を販売中
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LEITZ MPV-SPは、ウェーハの厚さ、抵抗、反射率、およびその他の物理的特性を高精度かつ信頼性の高い測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測ソリューションです。最新のレーザーベース技術を使用して構築されたこの装置は、自動化されたコンパクトなフットプリントで厚さ分析のための優れた精度と再現性を提供し、中小規模のウェーハ試験および計測アプリケーションに最適です。このシステムは、レーザー反射計を使用してウェーハ表面の特性を測定します。表面に反射したレーザー光を用いてウェハ表面の地形をマッピングします。レーザービームは顕微鏡目的でサンプル上の小さなスポットに集中し、反射光の強度を単位で測定します。その後、マシンはサンプルの反射率に基づいて関心のあるパラメータを計算します。MPV-SPはまた、ウェーハのサイズと形状に基づいて正確かつ再現性の高い測定を保証するために、自動ウェーハアライメント機能を搭載しています。特許取得済みの3次元ビジョンツールを使用して、サンプルをレーザー光学系と整列させます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスを使用して、アプリケーションに合わせてさまざまなパラメータの簡単な操作とカスタムウェハプログラミングをプログラムした場合の資産。このモデルは、0。1 μ mの解像度で、毎分15ウェーハまでプローブすることができます。ウエハの厚さは、1ミクロン以上の精度で分析することができます。1ミクロン以上の精度で、ピット、ピッティング、バンプ、接着、傷などの表面欠陥を検出するために使用できます。表面からの反射光は、ウェーハの反射率と抵抗率を測定するためにも使用できます。LEITZ MPV-SPは、ウェーハの厚さ、抵抗、反射率を高精度かつ再現可能に測定できるように設計されています。中小規模のウェーハ試験および計測アプリケーションに最適なソリューションで、コンパクトで自動化されたパッケージで優れた精度を提供します。
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