中古 LEITZ LIS #9283430 を販売中

LEITZ LIS （Laser-Enhanced Image Metrology Equipment）は、半導体チップまたはウェーハの表面をマイクロスケールまたはナノメートルスケールで分析するために使用されるウェーハ試験および計測システムです。このユニットは、高度に複雑な半導体デバイスの形状、構造、機能を強力かつ高精度に解析し、表面地形、テクスチャ、表面汚染、欠陥、およびオーバーレイ精度の検出および特性評価を行うことができます。LISは、光学共焦点顕微鏡とレーザー干渉を主なセンサーとの組み合わせに基づいています。共焦点顕微鏡は、高解像度レーザービームを使用して、最大0.2µm/pixel分解能でウェーハ表面をスキャンします。レーザー干渉とせん断技術は、2つのレーザービームを使用して表面の相対的な高さを測定します。高速画像処理アルゴリズムを使用して、3次元（3D）の表面形態を計算し、表面プロファイル、ステップハイト、ジャンクション深さ、オーバーレイ精度などの重要なパラメータを導出します。ツールの分析機能は、特定のアプリケーション用にカスタマイズされたモジュールを使用して拡張できます。これらのモジュールを使用すると、表面粗さ、表面欠陥分類、粒子検出、抵抗解析など、さまざまなパラメータを測定できます。LEITZ LISアセットには、リアルタイムデータを収集、表示、分析するための強力なソフトウェアもあります。直感的なユーザーインターフェイスは、さまざまな高度な分析オプションを提供し、その後のレビューと比較のためにデータをエクスポートおよび保存する機能を提供します。さらに、ユーザーは任意のコンピュータからモデルにリモートでアクセスし、任意の場所から分析を監視および制御することができます。LISは、多くの研究、開発、生産アプリケーションで使用される、汎用性の高い信頼性の高い機器です。高い画像解像度と正確な3D測定により、複雑なマイクロおよびナノメートルスケールの特徴を簡単かつ正確に分析することができます。これにより、最新の半導体デバイスの品質を評価および検証するための理想的なツールとなります。