中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293793232 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XPは、高度なレーザー熱画像ウェーハ試験および計測機器です。赤外線サーモグラフィーを使用して、サブミクロン分解能でウェーハの電気抵抗を測定し、さまざまな半導体生産プロセスに適しています。KLA TP 630XPは複雑な立体構造を測定することができ、手動でのアライメントや測定後の計算は不要です。半導体チップの製造に使用される薄膜、特徴、材料の高速非破壊試験を行います。ウェーハはレーザービームで照らされ、サーマルイメージングカメラで登録された赤外線は相対抵抗値に変換され、基準と相関します。このシステムは、最大5,000ポイント/秒のデータ取得速度で高速かつ信頼性が高く、リアルタイムで包括的な分析を提供できます。内蔵の安全メカニズムと複数のアラームを備えており、高温などの危険を警戒しています。このユニットのレポート機能により、データセットのほぼ瞬時の保存と分析が可能になります。TENCOR TP 630XPは、ローカライズされた非線形性の場合でも、ウェーハのオンとオフの両方の方向（双方向抵抗率）の抵抗値を正確に測定できます。TP 630XPの双方向抵抗率測定は、正確で再現性があり、追跡可能な結果を保証します。さらに、高性能な画像取得と信号解析により、深部サブミクロン構造の高度な試験に適しています。サーマルイメージング機能に加えて、THERMA-WAVE TP 630XPには、データおよびパラメータ測定用のプロセス制御装置、およびプロセスエラーを効率的に識別するための高速結果解析ツールなどの特殊な計測ツールが含まれています。また、自動整列やスタビライズメカニズムなどの機能も備えており、手動整列コストの削減に役立ちます。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XPは、半導体業界の多くの生産プロセスに適した効率的で正確なウェーハ試験および計測資産です。その高度なサーマルイメージングおよび計測機能により、複雑な3次元構造を迅速かつ正確に分析でき、組み込みの安全機能とレポート機能により、あらゆる種類のウェーハ試験および計測要件に対応した信頼性と安全性の高いモデルとなります。