中古品 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE (ウェハ検査・計測) を販売中
KLA/Tencor/Therma-Waveは、ウェーハ試験および計測機器の大手メーカーです。半導体業界で使用されている品質管理とプロセス最適化のための製品の範囲を提供しています。同社の主力製品の1つは、Optiprobe 2600、 Optiprobe 2600B、 Optiprobe 5240などのモデルを含むOptiprobeシリーズです。これらのシステムは、非接触ウェーハ試験および計測に使用され、薄膜の厚さ、組成、およびその他のパラメータの正確な測定を提供します。KLA/Tencor/Therma-Waveのウェーハテストと計測ユニットの利点は、その精度、速度、汎用性にあります。これらのマシンは、さまざまなウエハサイズを処理するように設計されており、さまざまなプロセス手順に統合することができます。リアルタイムのフィードバックを提供し、製造ラインの問題を迅速に特定して修正することができます。これらのツールの非接触性はまた、ウェーハへの損傷のリスクを最小限に抑えます。例えば、Optiprobe 2600は、優れた精度と再現性を提供する高性能システムです。数ナノメートル程度の薄膜をサブナノメートル分解能で測定することができます。一方、Optiprobe 2600Bは、同様の測定機能を提供しますが、よりコンパクトでポータブルなベンチトップモデルです。Optiprobe 5240はインラインプロセス制御用に設計されており、生産ラインを中断することなく迅速な測定が可能です。全体として、KLA/Tencor/Therma-Waveのウェーハ試験および計測資産は、半導体メーカーにとって不可欠なツールであり、製品の品質と信頼性を確保するのに役立ちます。
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