中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293759748 を販売中
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ID: 293759748
ヴィンテージ: 2006
Metrology system
Lamp housing
ANORAD Stage assy
Upper drawer
Lower drawer
Laser
(2) ASYST ISOPORT Load ports
KAWASAKI 3NX520B-A005 Robot
Aligner
Front UI
Rear UI
(4) KINETIC SYSTEMS Vibraplane
Part number:
40077-01-0055
40076-03-0055
40076-02-0055
40077-01-0055
PC
Robot controller missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XPは、高精度で高速な計測アプリケーション向けに設計された多機能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高性能な光学系と高品質のイメージングを備えています。高速で信頼性の高いAutoFocusユニットと、大規模なウェーハから複雑なデバイス構造を迅速に分析する独自のIn-Sightアルゴリズムを備えています。KLA TP 630XPは、高効率サンプルスキャンのために自動化されたステージを使用し、計測および特性評価アプリケーションの両方に最適な速度と精度を達成するために3つの速度を提供します。最大ステップサイズが2。5 umのTENCOR TP 630XPは、サブミクロンレベルまでの回路特性を測定できます。FP 630XPはまた、異なる試験要件のための3つの照明選択を提供します。これらには、白色光、偏光光、暗視野の照明が含まれます。TP 630XPは、550 x 570〜3,424 x 2,656ピクセルの解像度を選択可能な高解像度CCDカメラを備えています。カメラの画像処理ソフトウェアは、ウェーハ全体のデータを高い精度で分析することができます。また、幅広い試料調製材料をサポートしており、試験前にウェハの薄型化、ヒンジプローブ、エッチングが可能です。また、THERMA-WAVE TP 630XPは高度な計測機能を備えており、高さ、傾き、コーナー、エッジ半径、およびその他のマイクロ機能を高精度に測定して欠陥のレビューと分析を行うことができます。さらに、高度なソフトウェアパッケージには、自動デバイス認識、ウェーハオーバーレイおよびオーバーレイ測定、およびクリティカル寸法測定用の画像処理ツールが含まれています。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XPは、ウェハレベルの製造、およびリトエッチプロセスを監視するための自動計測で認定されています。このツールは、さまざまな業界標準のプラズマエッチングおよびデカムプロセスと互換性があります。包括的な機能を備えたKLA TP 630XPは、ウェーハレベルの測定を改善し、コストを削減し、生産歩留まりを向上させるように設計されています。
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