中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630 #293636352 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630は、KLAとTENCORによって製造されたウェーハ試験および計測機器です。この最先端のシステムは、高度なマルチセンサー技術とインテリジェントな生産管理機能のユニークな組み合わせを提供します。半導体製造および研究用途向けに特別に設計されています。KLA TP 630は、CCD検出器、自動化された機械サンプルハンドリングマシン、インテリジェントソフトウェアスイートを内蔵した完全自動化ユニットです。シングルセンサー測定から高度なアルゴリズムを使用した高度なマルチセンサー、多次元解析まで、幅広い計測機能を提供します。また、独自のマルチサイトサンプルハンドリングモジュールと正確なモーションコントロールにより、サンプルステージ上の基板やサンプルの正確な位置決めが可能です。TENCOR TP 630は、最新のIEEE-1394デジタルイメージング技術と高度な信号取得、処理、解析技術を採用しています。このツールは、薄膜、地形、ナノ構造特性など、半導体材料のさまざまな電気的および光学的特性を測定することができます。これは、単純な電気的および光学的測定から複雑な多次元解析まで、さまざまな計測機能を提供します。THERMA-WAVE TP 630のマルチセンサアセットは、表面積、厚さ、抵抗、誘電率など、さまざまな特性を測定することができます。このモデルは、複雑な構造を正確に分析するために、複数のサンプリング領域を通じてサンプルを分析することもできます。さまざまなアプリケーションに適したさまざまなプローブ、ウェーハフレーム、プローブカードで構成できます。TP 630は高解像度のイメージング機能も備えており、半導体材料の詳細な2Dおよび3D画像を提供します。この装置は、材料の様々な幾何学的形状やパラメータの測定、検査、分析に最適です。温度、ドライエッチングプロセス、電子ビームリソグラフィなどの材料ダイナミクスのプロセス監視および特性評価に使用できます。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630は、卓越した性能と精度を提供し、データ収集および分析システムと統合して生産性を最大化できます。このシステムの高度な設計と機能は、極端なプロセス条件下でも正確な結果を保証します。その強力なソフトウェアスイートにより、エンジニアや科学者はデータを迅速かつ正確に分析し、より情報に基づいた意思決定を行うことができます。