中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #9296615 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500は、高性能ウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェーハの物理的特性と電気的特性の両方を正確かつ信頼性の高い測定をユーザーに提供します。このシステムは堅牢なハードウェアとソフトウェアを備えており、ユーザーはさまざまな基板で再現可能な結果を持つ複雑なテストを実装できます。KLA TP 500は、直径5インチまでのパターン化されたウェハ上のウェハ形状と光学クリティカル寸法（OCD）の両方を測定するように設計されています。また、薄膜の厚さを測定するだけでなく、抵抗や圧着¬タンスなどの電気的パラメータを測定するために使用することができます。TENCOR TP-500には、パターン認識¬チオンプロセッサを内蔵した大型光学分解能顕微鏡と、各種基材に対応可能なCCDレーザースキャナを搭載しています。オートフォーカスモーターにより、異なる焦点距離を素早く切り替えることができ、複数の層構造を正確に測定できます。さらに、統合ビジョンユニットを使用して、オーバーレイ測定の正確なアライメントを確保できます。また、精密なOCD測定のために、ウェーハの正確な位置決めが可能な高精度ウェーハステージを搭載しています。さらに、ステージにはファブリックで覆われたウェーハホルダーが並んでおり、静電気によるウェーハの損傷を軽減します。データ管理の面では、このツールには強力なデータ処理スイートが装備されており、ユーザーは測定結果をすばやく分析してレポートを生成することができます。このスイートは、リモートデータアクセスと効率的なデータ共有のためのさまざまなWebベースのサービスをサポートしています。また、ウェーハパターンライブラリ、トレーニング資料、トラブルシューティングガイドを含む包括的なサポートパッケージも付属しています。全体として、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500は、優れた精度と信頼性を提供する高度なウェーハ試験および計測モデルです。その信頼性と効率性の高いハードウェアと高度なソフトウェアにより、ユーザーは重要な業界標準に準拠した再現性のある結果を持つ複雑なテストを実施することができます。