中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293823526 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500は、半導体プロセス開発および故障解析に使用される高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高い解像度と精度でウェーハまたはダイの自動上面および断面解析を提供します。KLA TP 500はサーモグラフィーを使用して、ウェーハ表面の電気的特性を破壊接触や光学顕微鏡を必要とせずに測定します。このプロセスは、小さなサイズの機能内の損傷や欠陥を特定するのに役立ちます。また、非接触センサを使用して、最大0。3nmの地形変動を検出することができます。ダイ解析のために、TENCOR TP-500は、手動および自動ダイ・アドレス遷移の両方で自動ダイ・ロケーション機能を提供し、1つのロケーションから次のロケーションに簡単に移動できます。このマシンは、45x45mmまたは90x90mmのXYステージを内蔵しており、ウェーハ分析のための包括的なマッピングを提供します。このツールは、最大0。5 µmの被写界深度、デジタルイメージキャプチャ、自動ダイ選択、インプリント検出技術を備えた高解像度イメージングも備えています。画像解析ツールには、高度な粒子カウント、臨界寸法測定、電気署名解析などがあります。TP 500は、集計、故障メカニズム解析、合格/失敗、地形レポートなど、さまざまな形式の計測レポートを生成できます。このアセットにより、しきい値、平坦度、接続性、およびダイツダイ再現性などの重要なパラメータのチェックマッピングも可能になります。さらに、このモデルは直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、遠隔機器の診断と修理を可能にします。RoHSコンプライアンスに適合するように設計されており、1時間あたり最大120ウェーハのスループット速度で高速サンプリングを提供します。THERMA-WAVE TP-500は、要求の厳しい半導体プロセスのための最先端のウェーハ試験および計測システムです。