中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293699103 を販売中
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500は、最先端のウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェーハおよび集積回路の電気および光学試験を行うように設計されています。ウェーハプロービング、オンウェーハパラメトリックテスト、ソート、プログラミングなど、ウェーハテストサービスの統合プラットフォームを提供します。また、ウェーハ形状、平坦度、エッジ形状などのウェーハ寸法測定にも高度な計測機能を提供します。KLA TP 500は、Vt、 Ioff、誘電体の故障、平坦度、ブレークポイント、ウェーハパラメータ分布、漏れ電流など、さまざまなパラメトリックデータを測定できる高速ウェーハプロバーシステムを備えています。また、仕様外の基板の監視を行うこともできます。TENCOR TP-500は、最大200mmまでのウェーハに対応可能で、5つの選択可能なプロバーヘッドを備えています。これは、40MHzの最大試験速度を提供します。Proberには内部データインターフェイスがあり、ホストコンピュータへの迅速かつ簡単なデータ転送を可能にします。TP 500の計測機能には、ウェハ形状、平坦度、エッジ形状の測定が含まれます。レーザー干渉計とクローズドループデジタル顕微鏡ユニットを使用してウェーハ形状を測定します。また、KLA干渉計測器(TIM)を使用して平坦度、エッジプロファイル、スピンの均一性、およびその他の種類の寸法測定を行います。THERMA-WAVE TP-500は、二次計測用のウェーハをテンプレート化できる環境アナライザも提供しています。これは、ダイサイズを読み取り、ダイをソートアウト、測定刺激とパラメータ、欠陥のためのスクリーン。THERMA-WAVE TP 500は信頼性と精度の完璧な実績があります。オンボードデータシステムは、マシンのパフォーマンスを監視し、障害が検出されたときにオペレータに警告します。また、自己診断ツールを内蔵しており、あらゆる問題の迅速な特定と解決を可能にします。全体として、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500は最先端のウェーハ試験および計測資産であり、さまざまな半導体ウェーハおよび集積回路をテストするための信頼性と正確なプラットフォームを提供します。高速プローバと高度な計測機能を提供し、基板パラメータの詳細なテストと追跡を可能にします。
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