中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293754104 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400は、イオン注入プロセスを正確かつ正確に制御するために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。この機械は部品、特にマイクロエレクトロニクス、TFT表示および太陽電池の有効な製作のための高解像度および精密なイオン注入を提供できる。KLA TP 400は、イオン注入源、モニター、制御ユニット、サンプルホルダーなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。イオン注入源は、特定のエネルギーレベルでイオンを生成する電子加速器によって生成され、注入材料の表面特性を最適化します。ソース生成後、モニターユニットを使用してプロセスの結果を確認します。これはQMS （Quadrupole Mass Spectrometer）とDEA （Digital Emission Analysis）で行われます。制御装置は電子ビームの性能変数の調節を担当します、エネルギーの完全な制御を可能にします、インプラントの深さ、および均等性パスごとの線量。サンプルホルダーは、完全な位置決め制御を可能にし、さまざまなサンプルサイズと重量の埋め込みをサポートします。TENCOR TP 400は、簡単な操作のための直感的な制御ソフトウェアだけでなく、便利なインストールとメンテナンスのためのモジュール設計を備えています。システムは、結果の正確性と安定性を確保するために強力なコンピュータリソースで構築されています。さらに、真空絶縁チャンバーを使用することで、プロセスの安定性を高め、繊細な部品の損傷を防ぎます。TP 400は、イオン注入プロセスを正確かつ正確に制御するために不可欠なツールです。高度な技術により、汚染を最小限に抑えて信頼性の高い結果を提供し、さまざまな種類の部品の製造プロセスを改善することができます。