中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9399013 を販売中

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630
ID: 9399013
ウェーハサイズ: 12"
Implant dosing measurement system, 12".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630は、ウェーハ基板およびコーティングを検査するために使用されるウェーハ試験および計測機器であり、メーカーはお客様の仕様に準拠することを保証します。この高度なシステムは、複数の温度検出熱電対を使用して、± 0。2°Cの精度で、数°C以内の温度を測定および制御します。KLA Therma-Probe 630は、最先端のエレクトロニクス、サーボ制御、データ収集技術を備えており、複数の基板の精密で再現可能なテストを容易にします。この革新的なユニットは、ウェーハ基板の表面欠陥と下面欠陥の両方を検出することができ、欠陥解析のための強力なツールとなります。TENCOR THERMAPROBE 630はまた、基板損傷に伴う光学特性の変化を評価し、弱い特性を検出し、表面変化を明らかにします。ユーザーフレンドリーなTHERMA-WAVE THERMAPROBE 630には、人間工学に基づいて設計されたユーザーインターフェイスが装備されており、製造プロセスの任意の時点でウェーハテストと計測を行うことができます。直感的なインターフェイスは、直感的な操作と迅速なセットアップのために設計されており、機械の機能と結果に迅速かつ簡単にアクセスできます。さらに、THERMA-WAVE Therma-Probe 630は幅広いテストモードをサポートしており、様々なテストパラメータに容易に対応できます。これには、光学密度、温度、厚さの精密測定、および表面粗さおよび均一性の試験が含まれます。THERMAPROBE 630を使用すると、ユーザーはお客様の特定の要件に基づいてテストパラメータを設定できます。Therma-Probe 630の革新的な機能には、高解像度ウェーハイメージング技術、最先端のレーザー干渉計、精密熱加熱、データの静的または動的解析が含まれます。これにより、反復可能で信頼性の高い結果をユーザーに提供し、基板およびコーティングの最適な品質管理テストを保証します。特定のユーザビリティの考慮事項から長期的なパフォーマンスまで、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE THERMAPROBE 630は比類のない精度、信頼性、再現性を提供します。
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