中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9296387 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630は、半導体業界でウェーハ上の高度なデバイス構造の電気パラメータを測定するために広く使用されているウェーハ試験および計測機器です。この機械は高度な技術的特徴により、最も正確で正確な電気測定結果を達成します。このシステムは、ナノスケールレベルでの感度とリアルタイム非接触測定を備えた高速光学マイクロプロービングソリューションを含む、自動光学プロービング技術の最新の進歩を組み込んでいます。KLA Therma-Probe 630は、複雑な構造でも高精度、高精度、信頼性の高い測定、高速スループットを特長としています。ウェハテストユニットは、0。5〜12ミクロンのIC、 150〜200ミリメートルのウェーハ、2〜3ミクロンのスケールに対応するように設計されています。内蔵の計測機は、試験中にウェーハの表面温度を40ºC +250ºC維持し、ウェーハを任意の電極部位に直線的に移動させることができます。このマシンはオプションの両面プローブも備えており、ウェハの裏側にアクセスすることができます。このツールは、最適な性能と信頼できる直線性を確保するために、高度な信号処理回路とアクティブ温度補償技術を採用しています。TENCOR THERMAPROBE 630は、同時並列測定用のフィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）プロセッサを内蔵しています。また、データを高速に操作するための高速デジタル信号プロセッサ（DSP）と、データを保存および取得するためのプログラム可能なメモリデバイスを備えています。また、漏れの測定、オン状態抵抗、直線性、電流電圧曲線、ジャンクション容量などの自己モニタリング試験も可能です。これらのテストはすべて、測定の妨害を最小限に抑えて達成されます。さらに、このモデルには高度なグラフィカルユーザーインターフェイスソフトウェア（GUI）が搭載されており、データ管理とデータ分析プロセスを支援します。THERMA-WAVE Therma-Probe 630は、多くのユーザーフレンドリーな機能を備えています。例えば、ウェーハは自動的に整列され、機械は静的なテストモードから動的テストモードへの異なったテストモードを、自律的および切り替えることができます。また、フリップチップ、不揮発性メモリ（NVM）、絶縁体シリコン（SOI）、バイオメミスタなど、さまざまな種類の試験構造を適用することができます。この装置は、オンウェーハI/V（電流/電圧）テストから歩留まり推定まで、複数のレベルのテストを実行できます。また、複数のウェーハでの並列測定にも対応できます。結論として、THERMA-WAVE THERMAPROBE 630は、さまざまなサイズと構造のウェーハを正確に電気的に測定できる高度なウェーハ試験および計測システムです。高精度、高精度、高速スループット、セルフモニタリングテストなど、多くの有利な機能を提供します。さらに、ユーザーフレンドリーな機能と簡単なデータ管理機能により、あらゆる高度なウェーハテストアプリケーションに適しています。