中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 300 #293642292 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 300は、電子およびフォトニクス業界で使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。ナノ分解能とリアルタイムデータ収集により、高精度な測定を実現します。これにより、高度なリソグラフィ、研究開発、半導体製造などのアプリケーションに最適なソリューションとなります。直径300mmまでのウェーハ試験、厚さ1nmまでの測定が可能です。高精度なナビゲーションと安定化機能により、サンプルの迅速な読み込みと位置決めのための高度な自動化ステージを備えています。その5軸ロボットアームは、ウェーハを選択して配置したり、重い部品を取り扱ったりするように構成することができ、自動化されたテストシーケンスを迅速かつ正確に完了することができます。さらに、このユニットは、完全なトレーサビリティとプロセス制御を備えた大量のデータの自動測定をサポートしています。KLA Therma-Probe 300は、50mm対物レンズを備えた最適化された光学機器を搭載し、優れた画像解像度とコントラストを提供します。高解像度CCDカメラは、4〜6mmの視野と最大1nmの解像度を提供します。このツールはまた、5。0 μ mのスポットサイズと5nmの精度で、フラクトグラフィーとマイクロメトロロジーにも対応しています。アセットは、サーマルイメージングまたはサーモグラフィーとフォトダイオードイメージングの組み合わせを使用して、非接触モードで動作することもできます。これにより、熱分解能をわずか1mKまで高速に測定できます。さらに、PCDやCD-SEM、光学CD、 LER （Line Edge Roughness）測定、CDおよびCD-SEMオーバーレイ測定、バックツーバックCDなどの自動計測機能を備えています。全体的に、TENCOR Therma-Probe 300は、さまざまなアプリケーションに最適です。優れた精度と精度、高速データ収集、包括的な計測機能を提供し、研究開発、高度なリソグラフィ、半導体製造に最適です。