中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 #293591665 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660は、さまざまな半導体産業アプリケーションの品質管理のために設計された、最高のウェーハ試験および計測機器です。ウェーハメトロロジーツールは、レーザーベクトルおよび回折パターン解析から放射測定分析まで、パラメーター値を正確に測定および比較し、一貫性のある反復可能な結果を得ることができます。KLA Spectra-Shape 8660は、さまざまな測定機能を提供します。レーザベクタースキャンと回折パターン解析を使用して、ウェハサンプルから表面地形情報を取得し、表面粗さ、粒界、レリーフフィーチャー、平坦度などの表面フィーチャーの変化を評価するための非常に正確な定量分析を提供します。さらに、TENCOR Spectra-Shape 8660は、特定の表面の絶対反射度を決定できる広範囲の放射測定機能も提供します。Spectra-Shape 8660の性能は並外れています。X方向とY方向の極めて精密な動きを与える運動段、最大30nmの波長範囲、光学レンズのシステム、および測定値を正確に保つために特別に設計されたイメージングチャンバーを利用しています。さらに、その光学系は熱コントラストを低減するように設計されており、スキャンステージは完全にフラットではないサンプルでも滑らかな動きを提供するように設計されています。このユニットは、包括的な診断機能、アラーム機能、および自動スキャンパラメータを備えた複数の異なるユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供しており、ルーチン測定中の使いやすさと簡単なセットアップを可能にします。さらに、THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660には、さまざまな統計解析オプション、自動校正ルーチンおよび測定手順、トレンド分析機能、統合イメージコントラストおよびフィルタリングツール、および使いやすいGUIがあります。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660は、高精度でさまざまな機能を正確に測定できるラインウェーハ試験および計測機のトップです。最先端の設計と洗練されたソフトウェアにより、高速で信頼性の高い測定が可能であり、パラメータ値と一貫した再現性のある結果をすばやく比較することができます。このツールは、半導体の品質管理と生産のための非常に貴重なツールです。