中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9309105 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200は、半導体デバイスの性能を正確かつ確実にテストおよび測定するための包括的な分析を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、電気性能を理解するために使用できるウエハの物理的特性を理解するために、いくつかの高度な技術を組み込んでいます。KLA Spectra FX 200には、ウェーハ全体を素早く正確にスキャンできるプログラム可能なステージモーションユニットが搭載されており、正確な制御のための2つのモーターと位置検出用の高解像度エンコーダが装備されています。さらに、高解像度のイメージング、ケモメトリック解析、および正確なウェハ検査のための欠陥特性評価機能を備えています。TENCOR Spectra FX 200の高度な光学系は、ウェーハ表面のトポグラフィマップを作成する機能とともに、2 µmの小さい機能のイメージキャプチャを可能にします。このツールは、サーモグラフィーに基づいた高性能レーザー計測を使用して、ウェーハ上のナノスケールの特徴を迅速かつ正確に測定します。この高度な技術を使用することにより、ユーザーは層の厚さ、アスペクト比などを測定することができます。さらに、アセットの化学測定機能は、比類のない精度で層の高さ、組成、欠陥解析の計測を提供します。Spectra FX 200は、比類のないレベルの精度と信頼性を備えた分析ツールを提供します。これらの解析ツールにより、半導体デバイスの電気的および物理的性能を理解するために必要なデータを収集し、高い信頼性で結果を解釈することができます。さらに、拡張された接続性と便利な入出力機能により、他のシステム、データベース、および企業へのデータ転送がこれまで以上に容易になります。THERMA-WAVE Spectra FX 200は、安全性、セキュリティ、費用対効果を考慮して設計されています。この高度なモデルには、安全な操作と外部の影響からの保護を確保するために、さまざまな保護メカニズムが装備されています。さらに、メンテナンスフリーの入口空気浄化、信頼性の高い空気洗浄、自動内部および外部温度制御など、さまざまな機能により、コストを最小限に抑えながらエネルギー効率を最大限に高めます。KLAのこの先進技術は、効率的で信頼性の高い半導体デバイスの試験および測定方法を提供します。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200は、精密なモーションコントロールと高解像度イメージングからサーモグラフィーおよび化学測定機能まで、卓越した精度と信頼性を備えた包括的な解析を提供します。