中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9249271 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200ウェーハテストおよび計測装置は、ウェーハレベルでの薄膜構造の測定および分析を目的とした自動非接触計測システムで、10ナノメートル以下の解像度でウェーハレベルの最適化を実現します。洗練された検査および試験機能と干渉計の精密測定機能を組み合わせています。多波長の光源を用いてウェーハ上の様々な膜の層構造を測定・特性化するコンピュータ光学ユニット（COS）です。これには、表面フィーチャー、材料膜厚、光電子特性、および異なる厚さおよび拡散係数の材料膜をマッピングする機能が含まれます。波長カバレッジは400〜3200 nmで、スペクトル分解能は最大0。2 nmです。レーザー干渉計モジュールを使用してウェーハ表面を正確に測定およびマッピングするウェーハマッピングマシン（WMS）。40ナノメートルまでの分解能で抵抗、膜厚、拡散率を測定できます。また、高い精度と再現性を備えており、一貫性のある測定が可能です。COSおよびWMSモジュールから収集されたデータを詳細に分析するプロセス分析ツール（PAS）。異なるフィルムの詳細な検査、その厚さ、組成、および材料特性の分析を提供することができます。また、フィルム応力プロファイル、厚さ、およびその他の光電子パラメータの定量分析も提供します。自動化されたセマフォー追跡資産（ASTS）は、ウェーハをナビゲートし、スキャンの進行状況をフィードバックする際の自動スキャンモデルを支援します。この機器には、理想的ではないウェーハアライメントによる歪みの自動補正を可能にするスキャン補正機能が含まれています。KLA Spectra FX 200システムは、高度なウエハ検査、高度なフィルムおよび表面計測、高度な材料計測、プロセス認定および検証などのアプリケーションに最適です。ウェーハレベルの計測ソリューションを提供するための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。このユニットは堅牢なハードウェアとソフトウェアで設計されており、ダウンタイムを最小限に抑えて高速かつ正確な計測結果を提供します。