中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9215204 を販売中
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販売された
ID: 9215204
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2005
Film thickness measurement system, 8"-12"
(2) Load ports
EFEM
UI
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength light source: 220 to 800 nm
Spot size: <30 µm (Thickness and Rl)
Spot size: <30 µm (Reflectivity)
2D and 3D Mapping function
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Screen
Recipe / Library import: TCP/IP (On-time intromit)
Wafer breakage: ≤1/1,00,000 Cycles
Signal tower
Options:
E30-98 Gem semi
E5-93 SECS II Semi
Recipe generator
Remote access capability
Carrier ID, 12"
E23, 12"
E84, 12"
E87, 12"
Safety shield for SO, 12"
HP 6122
HSMS Communication
Break beam mapper
Direct cable less power connection
E84 Enabled: OHT and AGV/RGV
OHT Lockout
Computer
Operating system: Windows XP
PHOENIX Handler
Controllers:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz - P4 2.8 MHz
Memory: 1.024 GB DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
CD_R: 40X_8X (DVD RW)
Dongle
2005 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200は、最先端のウェーハ試験および計測機器です。半導体業界では、電気特性から物理的欠陥まで、さまざまなパラメータのウェーハ試験に広く使用されています。このシステムは、半導体ウェーハからのさまざまなデータを正確にキャプチャすることができ、欠陥の検出、電気特性の測定、統計分析に使用できます。KLA Spectra FX 200は3つの主要コンポーネントで構成されています。光学ステーションには顕微鏡、分光光度計、偏光計が設置されており、ウェハの表面、構造、組成に関する詳細な情報を取得することができます。干渉計ユニットは、表面粗さ、フォームファクタ、層の厚さなど、非常に正確な測定をキャプチャすることができます。最後に、分光ステーションには、ウェーハ全体の特性を測定および分析できる一連の分析機器が装備されています。この機械は精度を改善し、テスト時間を減らすように設計されている特徴の広い範囲を提供します。独自のソフトウェアとアルゴリズムを使用して、データ分析を高速化し、より良い精度を提供します。内蔵のデータベースにより、データの保存とリコールが簡単に行えます。また、デュアル波長テストにより、2つの測定セット間の任意の偏差が容易に検出されます。このツールはまた、最適な測定と結果の分析を保証するように設計された数多くの自動計測プロセスを提供します。TENCOR Spectra FX 200の革新的な設計により、より少ないエラーとより低い故障率で優れた性能を提供します。微細な欠陥を検出し、信じられないほどの精度で複数のパラメータを測定できるため、最も信頼性の高い高度なウェーハテストおよび計測システムの1つです。また、ウェーハのサイズやタイプを幅広く設定することができ、さまざまな用途に適しています。
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