中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #293652610 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200は、正確で高速なウェハスキャンと専用計測ツールを組み合わせたウェハテストおよび計測機器です。高度なCCDセンサーを光学系に採用し、正確なウェーハスキャンを実現し、200mm （8インチ）および300mm （12インチ）ウェーハの試験および測定用に設計されています。KLA Spectra FX 200は、ウェーハの厚さ、材料、パターンの広い範囲で2次元および3次元測定を実行することができます。これには、臨界寸法（CD）測定、エッチング深さ測定、オーバーレイ測定が含まれます。ウェーハ上の複数の特徴を検出する機能を持ち、粒子サイズや化学汚染物質を測定することもできます。TENCOR Spectra FX 200は、特許取得済みの低圧発生ユニットを使用して高分解能測定を行い、ウェーハ特性の小さな変化を高い精度と解像度で追跡することができます。このマシンはまた、スキャンプロセスのリアルタイムのフィードバック制御を可能にします。これは、高速で正確なウェーハの位置決めのための高度なコンピュータ制御ステージを備えています。THERMA-WAVE Spectra FX 200は、自動基板ローダ、サンプル搬送ロボット、より高いスキャン速度のための液体冷却、インラインマッピングステーション、統合されたガス制御など、さまざまなオプション部品を提供します。これは、焦点イオンビームや走査型電子顕微鏡など、いくつかの異なる顕微鏡と統合することができます。さらに、Spectra FX 200ツールには、簡単なセットアップと操作を可能にする強力なPCベースのソフトウェアパッケージが装備されています。全体として、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200は、強力で汎用性の高いウェーハテストおよび計測資産です。高精度で高速なスキャン機能を備え、複数層の機能検出と幅広いオプションコンポーネントを提供します。このモデルは他の顕微鏡との統合が容易であり、セットアップと操作を簡素化する強力なPCベースのソフトウェアパッケージが装備されています。