中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340 #9399017 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5340は、高精度、スループット、柔軟性を考慮して設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、高度な計測および欠陥検出アプリケーションのためのクラス最高のパフォーマンスを提供します。ウェーハとウェーハの自動アライメントと非接触、大面積の光学イメージングが可能であり、欠陥を特定し、重要な特性を分析し、測定するために、各ウェーハの表面を非破壊的に表示します。KLA Optiprobe 5340は高度な計測ステージを備えており、高速で正確なウェーハアライメントと高精度スキャンを提供します。このユニットは、ウェーハ全体のマップをできるだけ短時間で作成できるように、複数の基板の事前配置を可能にします。また、光顕微鏡、CCDカメラ、スペクトログラフなど、高度なウェハマッピングおよび分析に使用されるさまざまな試験および測定機器も備えています。TENCOR Optiprobe 5340の光学プラットフォームは、イメージング、欠陥検出、マッピングに卓越したパフォーマンスを提供します。マルチカラーイメージング技術は、高速で正確なウェハマッピングと機能特性評価に使用されます。高解像度フィルターおよび顕微鏡は、従来のシステムと比較して最大30倍の分解能を提供し、各ウェハの詳細な検査および分析を可能にします。このツールはまた、高度な熱検査アセットを備えており、迅速で非接触赤外線イメージングを提供します。さまざまなサーマルプローブやレンズを使用して各ウェハを検査することができ、迅速な欠陥の定位と解析が可能です。最後に、THERMA-WAVE Optiprobe 5340の自動計測モデルには、ウェーハの比較と解析のためのさまざまなソフトウェアアルゴリズムが含まれています。洗練されたアルゴリズムは、特定のウェーハの一般的な欠陥を迅速かつ正確に特定するために使用され、さらなる検査を必要とする可能性のある疑わしい欠陥のある領域を特定できます。高度な欠陥解析アルゴリズムへのアクセスを提供することにより、Optiprobe 5340は複雑な計測および検証タスクに最適です。