中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340 #293814729 を販売中
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5340は、さまざまなウエハタイプや材料の高精度かつ高精度な特性評価を提供するために使用される最先端のウエハテストおよび計測機器です。5340は、ミクロンとナノメートルスケールの両方でさまざまなウェーハ上の特徴を分析および測定できる自動化システムです。このユニットは、光学顕微鏡とコンピュータ制御サンプルステージで構成され、光学、電気、化学測定などのさまざまな自動解析を実行します。この光学顕微鏡は、超高分解能イメージングを可能にする大型の対物レンズを備えており、アドレス可能なメモリセルや集積回路などの小型の機能を検査することができます。コンピュータ制御のサンプルステージにより、ウェーハと測定ヘッドの3次元の自動移動が可能になり、複雑な形状の正確かつ再現性の高いウェーハレベル解析が可能になります。5340には、CCDカメラや分光計など、さまざまな検出器が搭載されており、表面の特徴、材料、その他の重要な特性を分析することができます。このマシンには、データファイルの自動アライメント、ステッチ、測定、およびその他のタスクを可能にするさまざまな専門ソフトウェア機関もあります。さらに、このツールは、他のシステムとの接続を可能にするさまざまな統合およびインターフェイスオプションを提供し、外部データソースとのデータの共有と分析を可能にします。KLA Optiprobe 5340は、高度なメカニズム、精度、精度、および機能を備えた、幅広いアプリケーションに業界をリードするテストおよび計測性能を提供します。このアセットにより、ナノメートルおよびミクロンスケールの特徴を複雑で自動的に再現可能なウェハレベル解析が可能になります。このモデルは、半導体の故障解析、プロセス監視および制御、集積回路テスト、欠陥ローカリゼーションなどの重要なウェハ特性評価および試験アプリケーションに最適です。
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