中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5300P #293632855 を販売中

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ID: 293632855
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300Pは、さまざまな精密エレクトロニクス用途で使用されるウェハテストおよび計測機器です。これは、電子デバイスの構造とパラメータを正確かつ信頼性の高い測定を提供することができる、最先端の自動化、完全にコンピュータ化されたシステムです。KLA Optiprobe 5300Pは、幅広いアプリケーションのための精度、信頼性、精度のユニークな組み合わせを提供しています。半導体デバイスのレイアウト、コンタクト、ビア、その他の寸法の情報収集に最適です。また、パワフルでフレキシブルなプラットフォームにより、均一性、層厚、マスクパターン形状、ライン幅など、さまざまな機能を測定できます。このマシンには、さまざまな自動測定を実行するための2つの高度な光学システムが装備されています。これには、走査型電子顕微鏡(SEM)、レーザー干渉計、レーザー回折、レーザー誘導熱画像(LITI)などがある。さらに、このツールは、超高精度の解像度で自動測定を実行できるオプションのラインオブサイトイメージングアセット(LOSIS)を備えています。TENCOR Optiprobe 5300Pには、信頼性と再現性の高い結果を保証するために、一連のデータ収集コンポーネントが含まれています。コントローラユニットは、ハイエンドグラフィックス処理ユニット(GPU)と独立したデジタルシグナルプロセッサ(DSP)で構成されています。GPUとDSPの両方は、厳密な測定公差を満たすために必要な複雑なアルゴリズムを効率的に計算するために最適化されています。これにより、高速で信頼性の高い画像およびデータ処理が保証されます。Optiprobe 5300Pには、最高の精度で正確な測定を提供するように設計されたさまざまなプロービング技術も含まれています。これらの技術には、熱画像、コンタクトモード、スキャンイオン顕微鏡(SIM)、渦電流測定などがあります。THERMA-WAVE Optiprobe 5300Pは、簡単なセットアップと操作のための直感的なユーザーインターフェイスも備えています。これにより、高容量または低容量、容量対電圧比などのデバイスのパラメータを正確かつ信頼性の高い校正およびルーチン測定が可能になります。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションニーズに基づいて正確なデータを迅速に調整および収集することができます。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300Pは、さまざまな用途において高精度で信頼性の高い結果をもたらします。デバイスパラメータとレイアウトを正確かつ再現可能に測定する優れた性能を提供します。このモデルは、正確で正確な測定機能を必要とするすべての企業に適しています。
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