中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 #9124948 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290は、半導体デバイスの品質と均一性を正確に評価するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ全体のさまざまなデバイスパラメータを高精度、高速、精度で包括的に測定します。KLA OPTIPROBE 3290は、3290光学顕微鏡モジュールと3200自動ウェハハンドリングユニットで構成されています。3290顕微鏡は、その強化された光学、強化された解像度、および視野の広い強力な診断情報を提供します。3200台の自動化されたウェーハハンドリングマシンは、業界トップクラスのスループットと精度を提供し、高いサンプルスループットを実現します。3290 Optiprobeは、デバイスの重要な機能サイズ、サイドウォール角度、角の丸み、形状、線幅の粗さなどを測定する機能を提供します。このツールは、デバイスの機能の最小の違いをキャプチャする優れた解像度を提供します。また、ナノ構造を正確に測定する感度も向上しています。さらに、3290は非接触および接触計測に最適化されており、最も困難な形状でも正確に測定およびプロファイルを作成できます。TENCOR OPTIPROBE 3290は、フィールド深度の拡張や3Dステッチイメージングなど、業界最先端のイメージング機能も提供しています。この資産には、KLA独自の画像取得および処理アルゴリズムが含まれており、最も困難な画像処理アプリケーションの精度と解像度を向上させます。OPTIPROBE 3290は、欠陥の自動レビューを提供し、品質向上のための欠陥の迅速な修正を可能にします。3290はインタラクティブなレビューインターフェイスとカスタマイズ可能なレポートオプションを提供し、ユーザーはウェーハ全体のさまざまな場所の結果を比較することができます。3290の顕微鏡と3200の自動ウェハハンドリングモデルを組み合わせることで、中量の半導体生産およびデバイス特性評価オペレーションは、スループットの向上、精度の向上、ウェハ品質の向上をもたらします。THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290は、半導体製造の成功に必要な精度、解像度、柔軟性をユーザーに提供します。