中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2690 #9395501 を販売中
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690は、最新の半導体製造施設で使用するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA Optiprobe 2690は、薄膜構造およびプロセスのさまざまな特徴を正確かつ効率的に検査および分析するための包括的なソリューションを提供する測定および分析機能を備えています。このシステムは、熱電(TE)および光光(PO)計測技術を使用して、半導体デバイスのトポグラフ、組成、膜厚などの重要な特性に関する正確なデータを取得します。TENCOR Optiprobe 2690にはTEプローブが内蔵されており、ウェハーマッピングとイメージングを自動化し、多種多様な構造の高解像度フォトミクログラフィーを可能にします。この高精度マッピングとイメージングは、熱電計測ユニット、光学プロファイラ、および自動ソフトウェアアプリケーションパッケージのフルスイートを統合することにより、さらに強化されています。Optiprobe 2690は、さまざまな重要な薄膜プロセスに関する情報を提供する一連の分析ツールと統合されています。これらのプロセスには、膜厚、地形、エッチング速度、浸透深度、ドーパント分布などがあります。さらに、このマシンは、正確な生産結果をサポートするためにカスタマイズされた堅牢な診断および特性評価技術を提供します。さらに、THERMA-WAVE Optiprobe 2690は、手動および自動モーター制御、XYZ自動レベリング、ウェーハIDオートローディングなど、さまざまな高度な制御機能を備えています。このツールにはコンポーネント分析アセット(CAS)も含まれており、適切なプローブとテスト信号を使用して、電流や電圧の漏れなどの重要な機能パラメータの決定を容易にします。このモデルには、さまざまなサンプル操作と温度管理機能が搭載されています。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690は、効率性と汎用性を考慮して設計されており、半導体製造業の絶えず進化する課題に経済的なソリューションを提供します。自動化および統合されたKLA Optiprobe 2690は、信頼性の高いウェハテストおよび計測機器であり、精度と最適な結果を保証します。
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