中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9220005 を販売中

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9220005
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Film thickness measurement system, 8" 1996 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bウェーハテストおよび計測機器は、プロセス開発、監視および制御、欠陥検出、欠陥識別、データ収集、ウェーハレベル予測、歩留まり改善、およびウェーハレベル分析などの幅広いウェーハテストおよび計測アプリケーションに高度な機能を提供します。このシステムは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、リン化インジウムなどの様々な基板を扱うことができる非常に柔軟でスケーラブルで構成可能な設計を特徴としています。また、10µm精度で直径200mmまでのウェーハにも対応しています。KLA OPTIPROBE 2600Bは、テストと計測活動をより簡単に、より速く、より安価にするように設計された、コンパクトで大量市場のフォームファクタで構成されています。ユニットコンポーネントには、Industried-Debugサブシステム、テストパターンの自動化、および包括的なテストツールが含まれます。Industried-Debugサブシステムは、回路欠陥の定位、回路パラメータの最適化、フォルト解析などの機能を備えた個々のウェハの詳細な分析を提供します。テストパターンの自動化により、計測および校正テストに使用されるテストパターンの最適化が簡素化され、最適な結果が得られます。さらに、TENCOR OPTIPROBE 2600Bには、XYステージムーブメント、プローブスキャン、デジタルヒューマンマシンインターフェイス(HMI)、ファジーロジックプロセッサなどの包括的なテストツールが含まれています。OPTIPROBE 2600Bは、ウェーハとテストプローブの交換にかかる時間を削減するために、最大3台の同時重複しないスキャンを提供する高度なスキャンセット取得マシンを備えています。また、+/-1ミクロンに達する精度とxy、 z、およびシータ軸テストステップのオンボード非線形補償を備えた最大12個の同時位置決め軸も提供します。すべての測定結果はMatlabデータレコーダーを使用してキャプチャされ、データをスプレッドシートやその他の分析プログラムに簡単に転送できます。さらに、THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bにはデータベースが組み込まれているため、より長い期間の結果の管理、アーカイブ、比較が容易になります。全体として、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bウェーハテストおよび計測ツールは、さまざまなウェーハテストおよび計測アプリケーションに使用できる強力で汎用性が高く信頼性の高いツールです。その包括的な機能と機能は、大規模なウェーハの開発、制御、分析を合理化するのに役立ちます。また、正確な測定のために最大12個の同時位置決め軸をユーザーに提供し、スムーズで正確な結果を得るための非線形補償アセットを統合しています。内蔵のMatlabデータレコーダーとオンボードデータベースにより、長時間にわたるデータの管理、アーカイブ、比較が容易になります。KLA OPTIPROBE 2600Bによって提供される高精度と柔軟性により、ユーザーは製造されたすべてのウェハから信頼性の高い試験および測定結果を保証できます。
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