中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9220002 を販売中

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9220002
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Film thickness measurement system, 8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、半導体ウェーハ上の重要なパラメータの正確で再現可能なテストと測定をユーザーに提供するように設計された高級測定ツールです。この高度な装置は、広範囲の動作温度にわたって、高アスペクト比の3Dデバイスなど、さまざまな複雑なデバイス構造をリアルタイムで測定することができます。この包括的な試験システムには、最大25ミクロンのサンプリングレートで8〜200 mmのウェーハサイズに対応できる2つのカメラヘッドが含まれており、最小の変更でも迅速かつ正確に検出できます。さらに、独自のOpti-Gallium Indium-Arsenide (GaAs)レーザー後方散乱技術により、高度な多層/マルチゲート構造測定のためのデバイスの迅速かつ正確な尋問を提供します。KLA OPTIPROBE 2600Bはまた、臨界寸法測定、臨界高プロファイル測定、ローカライズ、レイアウト、オーバーレイおよびオーバーレイ平坦度など、さまざまなテストと測定をサポートする統合計測ツールを備えています。また、BSI(底面検査)やSEM/FIBなど、複数の高分解能光学測定も可能です。高度なKLA電動プローブステーションは、ウェーハの正確なアライメントを可能にするように設計されており、複数のテストポイントを秒単位で測定できます。さらに、TENCOR OPTIPROBE 2600Bは、テストおよび測定機能の完全なスイートへのアクセスを提供するグラフィカルユーザーインターフェイスを使用しており、ユーザーは簡単にテストプログラムを設定してカスタマイズすることができます。さらに、このマシンは、安全なクラウドベースのWebサービスからリモートで制御することができ、高度なデータ分析のためのさまざまな人気のあるソフトウェアパッケージに接続することができます。THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、精度と精度のために構築され、ユーザーに半導体試験と計測のための強力で信頼性の高いツールを提供します。多様な機能セット、スピーディなパフォーマンス、セキュアなリモートアクセス機能を備えたOPTIPROBE 2600Bは、高度なウェーハテストと計測に最適なソリューションです。
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