中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9200135 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、最高レベルの精密半導体テストと自動計測用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。映像や光学などの数多くの技術を組み合わせ、半導体ウェーハとその関連部品の特性を正確に測定します。システムには非破壊評価を実行する能力もあり、テスト中のウェーハが損傷しないことを意味します。ユニットのOptiFlexアーキテクチャは、お客様のニーズに適応することができます。高解像度ビデオ検査から電気的欠陥の微細処理まで、15種類以上のモジュールで構成できます。KLA OPTIPROBE 2600Bの拡張フィールドビデオマシンは、最大100X倍率を実現し、ナノメートルレベルでのウェーハ特性の高解像度イメージングと断面解析を可能にします。また、腐食、種子、小さな粒子、液体、亀裂、バンプ、およびデバイスの特徴を欠陥ベースの検査や3D形状測定などのさまざまなアプリケーションでマッピングおよび識別することができます。TENCOR OPTIPROBE 2600Bは、ウェーハ上のデバイスの電気的特性、および厚さなどの物理的特性を測定することができます。高精度の光学技術により、1ナノメートルまでの分解能を実現し、ウェーハの完全性と品質に影響を与えません。さらに、このツールは、測定データをエンジニアリング図面とオンウェーハ「指紋」にすばやく比較して、矛盾を特定することができます。また、このアセットは、高解像度のサーフェス測定機能を備えた自動サーフェスプロフィロメトリーも提供しています。これは、ウェーハの製造プロセスを監視するために使用でき、効率を改善し、デバイスが重要なサイズと形状の要件を満たしていることを確認するのに役立ちます。テストとデータ分析のために、このモデルにはソフトウェア・ツールの統合計測スイートであるKLA WAVEマップ・ソフトウェアが搭載されています。これにより、収集したデータを分析し、測定レポートを作成するための使いやすい機能が提供されます。これらのレポートは、品質管理プロセスの不可欠な部分であり、ウェーハのバッチに関する決定を行い、設計および性能仕様を確実に満たすために使用されます。さらに、この機器は完全なデータ制御と構成機能を備えているため、テスト周波数や測定範囲などのシステムパラメータを簡単に変更できます。これにより、カスタムテストとデータ生成アクティビティが可能になり、ユニットを研究開発に使用することができます。結論として、THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、高精度の半導体試験のための複数の技術を組み合わせた強力なウェーハ試験および計測機です。幅広いカスタマイズ可能なモジュールと統合ソフトウェア、データ制御および構成オプションを備えたこのツールは、生産品質管理と製品開発の両方にとって非常に貴重なツールです。