中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #293794214 を販売中

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 293794214
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、高度なプロセス監視および分析アプリケーション向けに設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高速走査電子顕微鏡、光学顕微鏡、電気試験、暗視野/明視野イメージング、フォトレジスト計測、ウェーハエッジ検出など、ウェーハ表面および構造から幅広い計測データを収集することができます。KLA OPTIPROBE 2600Bユニットは、高度なプロセス制御、欠陥検出、および信頼性解析に関して優れた性能を提供します。このマシンは、アダプティブ・オプティクス・ツールを含むいくつかの革新的な技術を備えており、サンプルに合わせて光学パラメータを積極的に調整して、解像度、明確な粒子差別、高速な高スループットを最大化します。また、高度な自動画像解析技術を使用して、欠陥、粒子、トポロジーの変化を自信を持って迅速かつ正確に特定します。TENCOR OPTIPROBE 2600Bには、直感的なユーザーインターフェイスも装備されています。さらに、このモデルは、業界標準の均一性、精度、再現性、精度など、最も先進的な計測制御に準拠しています。また、High Level Automation (HLA)を搭載しており、装置を半自動または全自動にすることができ、システムを事前に定義された測定フローを繰り返すように設定できます。これにより、一貫した反復可能なデータを迅速かつユーザーの関与を減らすことができます。THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bはまた、パフォーマンスを向上させ、プロセスを合理化するためのアクセサリの範囲を提供します。ウエハハンドリング部品はもちろんのこと、機械の寿命を延ばす自動洗浄サイクル/給油部品も含まれ、汚染を最小限に抑えた正確なデータ結果を提供します。OPTIPROBE 2600Bは、精密測定結果と高度な自動化機能を必要とする半導体メーカー、ラボ、研究機関にとって理想的なソリューションです。
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