中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9364392 を販売中
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、最先端のウェーハ解析および測定機能を提供する最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA Optiprobe 2600は、特許取得済みのレーザー技術を使用して、直径100mmから300mmまでの半導体ウェーハの正確な非接触測定と分析を可能にします。多種多様な試験と測定が可能なシステムにより、機能、トランジスタ、集積回路レベルで各ウェーハを検査することができます。オンボードレーザー技術により、TENCOR Optiprobe 2600は、ウェーハ欠陥、粒子汚染、抵抗、表面粗さ、電気特性など、幅広い表面特性を検出できます。このin-situ解析により、ウェーハの製造に不可欠なプロセスパラメータを迅速かつ正確に特定できます。さらに、プロセス開発またはトラブルシューティング中にゲート酸化物の厚さ、接触金属化、フォトレジスト層、およびその他の材料を決定することができます。Optiprobe 2600にはソフトウェア制御のスキャンヘッドが装備されており、さまざまなパターンでレーザーをウェーハ全体に移動させることができ、ユーザーはウェーハ表面全体の複雑な経路を正確に追跡し、詳細な機能レベルのパラメータを測定することができます。また、高解像度カメラマシンにより、ウェーハ表面の正確な目視検査が可能です。この測定機能とイメージング機能の組み合わせにより、THERMA-WAVE Optiprobe 2600はプロセス開発、歩留まり最適化、およびウェーハ特性評価のための貴重なツールとなります。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、コンパクトで使いやすいプラットフォームで最高レベルのウェーハテストと計測機能を提供します。精度と信頼性のための厳格な要件を満たすように設計されており、品質保証、プロセス監視、コスト削減の取り組みに最適です。幅広い機能と機能を備えたKLA Optiprobe 2600は、今日の最先端の半導体製造オペレーションに理想的なウェハテストおよび計測ソリューションです。
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