中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9257351 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、半導体デバイスの高精度測定を可能にする高度なウェーハ試験および計測機器です。KLA Optiprobe 2600は、半導体ウェーハおよびダイレベルの機能をリアルタイムでエッジツーエッジ計測します。このシステムは、最大200mmウェーハに対応できる8インチのチャッキーステージを備えています。ドライテクニックと独自の化学洗浄方法を組み合わせた光学散乱計は、液浸ユニットの必要性を排除します。TENCOR Optiprobe 2600には、x、 y、 z軸のウェーハの動きを正確に制御するためのステージコントローラが含まれています。また、高解像度マッピングモードを搭載しており、非常に詳細な測定が可能です。統合されたイメージングマシンは、照明、ブライトフィールド、ダークフィールド、および斜めのイメージング機能を備えた優れた光学機器を提供します。このイメージャは、13メガピクセルの解像度と1ミクロン以上の画素化を提供し、詳細な画像処理結果を提供します。THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、ツールキャリブレーションの最適化、テストパラメータの最適化、機能のリアルタイムアライメントを自動的に実行する「スマート」ソフトウェアパッケージを備えています。このツールはまた、ユーザーに履歴データやレポートへのアクセス、およびリアルタイムのデータ視覚化を提供します。高度なデータ分析機能により、フィーチャーのサイズ、形状、位置に関連するプロセスのパフォーマンスを正確に判断できます。Optiprobe 2600は、高性能、高精度、および優れた再現性を必要とするユーザーにとって理想的な測定および測定資産です。このモデルは、高い再現性で信頼性の高い測定結果を提供します。また、幅広いウエハサイズやケミカルコーティングに対応できるため、様々な用途に適しています。高度な自動化機能、手動介入時間の最小化、直感的なソフトウェア操作を備えたKLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、半導体ウェハテストおよび計測操作に最適です。