中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9212840 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、幅広い半導体ウェーハ表面の電気特性の変動を高精度に測定することができる高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは測定プロセスを自動化するように設計されており、手動顕微鏡による手動検査よりもはるかに効率的で正確です。KLA Optiprobe 2600には、操作プロセスを簡素化し、より良い結果をもたらすエンベデッドビジョンユニットが装備されています。TENCOR Optiprobe 2600は、イメージングモジュール、テスターモジュール、測定モジュールの3つのモジュールで構成されています。イメージングモジュールには、ウェーハの表面に欠陥がないか検査するためのCCDカメラがあります。テスターモジュールには試験室があり、複数のサブテスターの場所から同時にさまざまな電気試験を行うことができます。Measurement Moduleは、効率的で正確な試験および計測作業に必要なすべてのコンポーネントを含む統合測定ソリューションです。THERMA-WAVE Optiprobe 2600プラットフォームには、ユーザーがテストプロセスを自動化できるKLA WINTESTソフトウェアも装備されています。WINTESTソフトウェアは、マシンパラメータの設定、テストプロセスの制御、測定データの分析、および複数のテストセットアップの構成に使用できます。さらに、Optiprobe 2600は業界標準のTENCOR S2Kソフトウェアと完全に互換性があるように設計されており、異なる分野で同じソフトウェアを使用できるようになっています。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は0。02 µmの高精度の測定の決断と正確な結果を提供するように設計されています。シングルウエハ、ダブルウエハ、マルチレイヤウエハなど、さまざまなウエハタイプのテストが可能です。さらに、KLA Optiprobe 2600は、表面プロファイル試験および計測のための最も要求の厳しい生産環境でのプロセスおよび資格監視に適しています。TENCOR Optiprobe 2600は、ウェーハテストと計測において最高の性能を提供します。テストと計測作業の効率を最大限に高め、信頼性と正確な測定を提供します。このツールは、ウェーハを検査する合理化された効果的な方法を探しているプロバイダー、プロセスエンジニア、およびその他の半導体専門家に最適です。