中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293828327 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、今日の半導体産業の試験および計測要件を満たすように設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、光学、走査型電子顕微鏡（SEM）、熱解析の3つの主要な技術を組み合わせて、半導体ウェーハおよびシリコンデバイスの試験および特性評価のための包括的なソリューションを提供します。KLA Optiprobe 2600は、特許取得済みのデュアルオプション顕微鏡設計により、光学顕微鏡と電子顕微鏡検査の切り替えが可能です。これにより、ユーザーは完全なウエハテストと、故障解析や欠陥分類などの複数のダイ解析を実行できます。このユニットには、高度な光学顕微鏡が装備されており、最大4Kの画像解像度と顕微鏡を手動で調整することなく、大小の機能を自動的に検査および分析するための優れた柔軟性を提供します。また、ダイ・ツー・アライメントの測定にも使用でき、ウェーハ全体にわたって正確なアライメントを維持できるほか、高スループットの異常検査、高精度のマクロおよびマイクロスケーリングが可能です。TENCOR Optiprobe 2600の高度なSEMは、5 nmの解像度を達成し、欠陥の高解像度画像と3D表面地形をキャプチャすることができます。さらに、SEMは電圧、電流、ステージ位置制御を備えており、サーフェスマッピング、イメージング、パルス測定が可能です。このツールは、半導体デバイスの特性を評価するための独自の熱解析コントローラも備えています。THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、この3つの高度な技術を組み合わせて、ウェーハ試験および計測に最適なツールです。このモデルは、デバイスの性能の信頼性と再現性の高い測定を提供し、その結果、ダイレベルおよびウェーハレベルの歩留まり改善イニシアチブを提供します。