中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293673758 を販売中
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600は、ウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、高度な半導体製造プロセスで使用されるウェーハのための包括的な計測ソリューションを提供します。このユニットは、機械の自動ウェーハメトロジーと自動ウェーハテストサブシステムの2つの主要コンポーネントで構成されています。自動化されたウェーハメトロロジーサブシステムは、精密な光学顕微鏡、オートフォーカス、およびさまざまな選択可能な波長レーザー源で構成されています。オートフォーカスとレーザーソースにより、サブミクロンレベルの検査中に詳細なサンプル分析とウェーハの正確なナビゲーションが可能になります。さらに、このツールの自動マッピング機能により、機能、欠陥、およびダイ位置の詳細なグラフィカル表示を作成できます。自動化されたウェーハテストサブシステムは、高度な電気的プロービング機能と、接触抵抗、電流、電圧降下、およびオンチップ容量レベルを測定する機能を提供します。アセットのテスト機能により、ユーザーはデバイスのパフォーマンスと機能を迅速かつ正確に調査できます。さらに、このモデルのプローブチップは、デバイス特性に影響を与えることなく、幅広いウエハ基板に素早く交換できます。また、Windowsベースの強力なソフトウェアにより、ウェーハイメージを閲覧したり、統計表、グラフィカルディスプレイ、ヒストグラムなど、さまざまな形式でデータを分析することができます。ソフトウェアの制御モジュールは、ウェーハのテストと測定のためのさまざまな自動ルーチンを可能にします。さらに、システムの高度なビデオ処理アルゴリズムにより、欠陥、表面の不規則性、微妙なパターン変化をすばやく検出し、高い歩留まり解析を行うことができます。KLA Optiprobe 2600は、要求の厳しい半導体製造プロセスのニーズを満たすように設計された洗練されたウェーハ試験および計測ユニットです。このマシンは、自動ウェーハメトロロジーとウェーハテストサブシステム、精密光学顕微鏡、およびユーザーフレンドリーなWindowsベースのソフトウェアのユニークな組み合わせにより、ウェーハの検査とテストのニーズに対応する包括的で正確で効率的な計測ソリューションをユーザーに提供します。
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