中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV #9200133 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUVは、高度な深紫外線（DUV）イメージングおよび検査用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。半導体デバイスの最先端の生産に向けて、プロセス制御、歩留まり、市場投入までの時間を改善します。KLA OPTIPROBE 2600 DUVシステムは、高解像度、高スループット、および平均ダイナミックレンジよりも高い組み合わせを提供する、全反射、テレフォーカスイメージングおよび分光顕微鏡ユニットと高度な光学系を組み合わせています。これにより、低レベルの検査やオーバーレイなどの難しいイメージング用途でも優れた画質とダイナミックレンジが得られます。また、先進的な光学エンジニアリングパッケージを備えており、フライトケースベースに高性能の光学機器を提供しています。これは、迅速なセットアップと高速切替、最適化された光路、および高度な多軸ポジショナツールのための低振動設計を備えています。このアセットには、プロセス制御と歩留まり向上を最大限にするように設計された高度な計測機能も含まれています。フルフィールドシステムに匹敵する自動ウェーハメトロジーですが、プロセスモニタの配列により汎用性が向上しています。ローカライズされた計測、より高い精度と速度でウェーハのターゲット領域の計測操作を可能にします。ダイナミックフォーカストラッキングアルゴリズムにより、画質が向上し、デバイス機能の精度が向上します。統合された高性能イメージング。モデルと他の分析ツールとの間で画像を転送し、解像度と明瞭さを向上させます。TENCOR OPTIPROBE 2600DUV装置は、高度なDUVイメージングおよび検査に理想的なソリューションであり、重要な半導体アプリケーションの歩留まりと市場投入までの時間を最大化するのに役立つ高効率な処理を提供できます。優れた画質とダイナミックレンジと高度な計測機能を幅広いプロセスに提供し、品質、歩留まり、コスト効率を確保するための強力なツールです。