中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600B #9383636 を販売中

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600B
ID: 9383636
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Film thickness measurement system, 8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600Bは、1つのプラットフォーム上で半導体デバイスの電気的および熱的特性を徹底的に測定するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、電子機器の製造、包装、および統合のための計測、熱試験、およびレーザーエッチング機能の範囲を提供します。このユニットは、トラックパターンの完全性を損傷または妥協することなく、ウェーハやその他の材料の正確で非破壊的なテストを提供します。KLA OP 2600Bは、赤外分光法(IR)を利用して、地形、厚さ、粗さなどのシリコンウェーハの物性を測定します。また、ウェーハをエッチングして電気接続を作成するだけでなく、電気テストやアナログ測定を行うこともできます。さらに、TENCOR OP 2600Bは、赤外線、X線、および紫外分光法を含む幅広いソースを分析することにより、欠陥、汚染、およびその他の不規則性を検出する機能を提供します。このツールは、他のさまざまなウェーハ計測ツールと非常に互換性があり、シームレスかつ自動化された方法でそれらと対話するように構成することができます。タッチパネルコントローラと直感的なソフトウェアインターフェイスを備えているため、操作が簡単になり、ユーザーエラーのリスクが軽減されます。さらに、THERMA-WAVE OP 2600Bは、試験および計測作業中に精度と再現性を最適化するための包括的な診断およびレポート機能を備えています。この資産には、ウェーハの正確なサーマルプロファイリングのための高度な熱光学システムが装備されています。OP 2600Bのデータ取得速度と加熱速度能力により、最高効率を確保するために精密な測定を行うことができます。また、信頼性の高いエッチングプロセス用のレーザー自動整列オプションも備えています。さらに、このモデルは、騒音干渉を低減し、正確な結果を保証するために、環境要因から正確な振動分離を提供します。全体として、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600Bは多目的で信頼性が高く、正確な試験および計測機能を提供します。包括的なレポートと高精度の測定を提供することで、組織はウェーハや半導体デバイスの完璧な品質チェックを行うのに役立ちます。
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