中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600B #293824935 を販売中

ID: 293824935
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600Bウェーハ試験および計測装置は、シリコンウェーハの幅広い物理的および構造的特性を迅速かつ正確に測定するように設計されています。内蔵された高度な統合光学センサと静電容量センサにより、優れた精度と精度で複数のパラメータを測定できます。KLA OP 2600Bは、マルチロケーションモーターキャリッジと組み合わせて、高度なウェハステージから構築されています。これは、ウェーハの特性を測定しながら、迅速かつ正確にウェーハを移動することができるハイブリッド設計を作成するために組み合わされます。このシステムには、有意義な結論に達するために、オペレータが迅速に結果をプロットすることができる高度なウェーハマッピングソフトウェアも装備されています。高度なウェーハステージに加えて、TENCOR OP 2600Bは高解像度イメージングユニットを含む高度な光学ステーションも備えています。この光学ステーションにより、オペレータはウェーハ表面を正確に検査し、マルチアングル測定を行い、製造後の構造の性能を評価することができます。THERMA-WAVE OP 2600Bには、幅広いパラメータを測定できる強力な測定機が装備されています。ウエハの欠陥、地形、オーバー/アンダーカットの深さ、メカニカルドーピング、僅かな奇数/偶数層の変化、エッチングの深さ、ドーピングの均質性などを分析することができます。また、非接触伝導性、接触抵抗、電圧降下など、さまざまな測定を可能にするさまざまな個別ツールを使用して構成することもできます。精度と精度を高めるために、OP 2600Bには、1つのフィーチャーで地形を測定できる3Dプロファイラ、ウェーハの表面全体にわたる特徴のパターンを測定できるマルチゾーン計測ツール、粒子サイズ構造測定ツールも含まれています。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600Bは、強力な測定機能、高度な光学技術、データ収集機能を備え、品質管理とウェーハ試験に効果的で信頼性の高いソリューションです。これにより、品質保証エンジニアとプロセスエンジニアは、最高レベルの品質管理と製造歩留まりを維持することができます。
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