中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9250104 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は、シリコンウェーハの特性評価に使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、単一のウエハの厚さ、屈折率、誘電率、およびその他のパラメータを測定するために設計されています。150mmと200mmのウェーハを1つのプロセスで測定でき、サイクルタイムを短縮し、メンテナンスのダウンタイムを削減できます。KLA OP 2600は屈折率、厚さ、サイドウォール、厚さの均一性、誘電体の一定した、付着させたフィルムのレベル、障壁の層の均一性、平坦、基板の質、反射率および粗さの索引を含むいろいろな測定を支えます。これらの測定は可変周波数と角度にわたって行われ、より広範囲の特性評価結果を得ることができます。さらに、このユニットには、一定の再現性と精度のために、さまざまな自動補償技術が装備されています。このマシンは、室温から500°Cまでの温度で、最大4つのウェーハを同時に処理することができます。それは500°Cまで温度の測定を可能にする熱くする段階を含んでいます。このツールはまた、リアルタイムのデータ取得、分析、診断、および制御機能を可能にし、より効率的で最適化されたプロセスを可能にします。このアセットには、レーザー干渉計、ウェハの光学的厚さを測定するための精密なアプローチも含まれています。TENCOR OP 2600にはエラーチェックツールが含まれており、生産時間の短縮に役立つカスタマイズ可能なプリアンドポストプロセスソフトウェアが用意されています。このモデルには自動校正ステーションが装備されており、正確さと再現性を確保し、手動校正ステップを排除します。さらに、機器にはオペレータコンソールとライトバーグラフの両方が含まれており、ユーザーにフィードバックを提供します。全体として、THERMA-WAVE OP 2600は非常に有能なウェーハテストおよび計測システムであり、専門家は1つのウェーハでさまざまなパラメータを迅速かつ正確に測定できます。その汎用性、精度、再現性により、シリコンウェーハの特性評価において貴重で信頼性の高いツールとなります。