中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9215499 を販売中
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ID: 9215499
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Film thickness measurement system, 8"
SMIF System: (2) Indexers
Handler system: Robot unit
NANOMETRIC / ACCENT Q240AT
1994 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は、ウェハテストおよび計測機器です。それは200mmの直径までのウェーハの非常に正確なテストのための広範囲のパッケージを提供します。独自の機能により、幅広いウエハ構造の欠陥を迅速かつ確実に検出できます。KLA OP 2600システムは、高度な光学およびレーザー計測ツールを使用してテストを実行します。光学ユニットは、解像度、再現性、精度を提供する3ピース固定光学マシンを使用しています。レーザーツールは、反射率、ウェーハプロファイル、形状、厚さ、面粗さなど、幅広いパラメータを測定することができます。さらに、ソフトウェアアーキテクチャに組み込まれたいくつかのソフトウェアアルゴリズムは、画像の分析を支援し、幅広いデータ処理機能を提供します。このアセットは、特許取得済みのマルチウェーハホルダーを使用して複数のウェーハを同時に自動的にテストすることができます。これにより、ウェーハテストと品質保証プロセスが容易かつ迅速になります。ソフトウェアスイートは、データ収集とデータ処理を自動化し、テスト結果を即日配信できます。TENCOR OP 2600は、分光法や表面解析などの非接触計測技術を選択してウェーハの特性評価にも使用できます。これにより、標準的なシリコンウェーハ、SOIウェーハ、STIウェーハ(浅いトレンチ絶縁)ウェーハ、MEMウェーハ(マイクロメカニカルモデル)ウェーハなど、さまざまなウェーハ構造の正確なデータを生成できます。THERMA-WAVE OP 2600は、過酷な環境条件に耐えるように設計されています。この装置には自動洗浄システムが装備されており、環境に優しい液体洗浄ソリューションを使用してテストが汚染されないようにしています。さらに、このシステムは、EMC指令などのさまざまな安全規制に準拠しており、ユニットを使用する際に安心してご利用いただけます。全体として、OP 2600は、精度、速度、精度を必要とする製造プロセスに理想的なウェーハ試験および計測機械です。その高度な光学およびレーザー計測機能と環境コンプライアンスにより、あらゆるラボまたは生産施設に信頼性が高く貴重な付加価値があります。
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