中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9214771 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
![KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 フォト(写真) 使用される KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 販売のために](https://cdn.caeonline.com/images/kla-tencor-therma-wave_op-2600_931738.jpg)
![Loading](/img/loader.gif)
![Loading](/img/loader.gif)
![Loading](/img/loader.gif)
![Loading](/img/loader.gif)
![Loading](/img/loader.gif)
![Loading](/img/loader.gif)
![Loading](/img/loader.gif)
ID: 9214771
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Film thickness measurement system, 8"
Multiple layers
Refraction index
Thick and thin film
Extinction coefficient
Reflectivity measurements
(2) Cassette loader stations
Thermoelectrically cooled diode laser: 675 nm
Lamp: Tungsten halogen
Measurements: Multi-layer and multi-parameter on thin ONO & OPO film stacks
Polish slopes: 7 micron x 7 micron
Wafer ranging: 4"-8"
Thick dielectric films
BPR >500A
BPE <500A
Spectrometry
Visible: 450 nm-840 nm
High index films: C-Si, Poly-Si, A-Si
1994 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は、正確で信頼性の高いウェーハ測定を提供するように設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学および統合計測を使用して、材料の厚さ、均一性、地形、粗さなどのウェーハの物理的特性を迅速かつ正確に評価します。このユニットは、ウェーハ薄膜およびウェーハ表面特性評価用の高速で自動的な非接触測定を提供します。自動化された精密校正プロセスにより、結果の精度が保証され、ウェーハ機能の最大解像度を提供する高解像度イメージングマシンが装備されています。このツールはユーザーフレンドリーに設計されており、直感的なユーザーインターフェイスにより迅速な操作とデータ分析が可能です。KLA OP 2600は、正確な3Dナノメートルレベルの測定に5軸ステージを使用し、フルセミオートマッピング機能を備えています。最大8個のウェーハを自動ロード/アンロード処理に保存できるため、大量のウェーハを迅速かつ簡単にテストおよび測定することができます。このアセットは、3D寸法でナノメートルの再現性を備え、最大0。5umの解像度でウェーハトポグラフィを測定できます。また、高度なプロセス制御など、さまざまな測定およびテスト技術のための専門的な計測ソフトウェアも含まれており、最適なウェーハ品質を確保するためのプロセスパラメータのリアルタイム監視を提供します。さらに、SPCソフトウェアと統合することで、さらなるプロセス最適化が可能になります。TENCOR OP 2600は、欠陥解析および検査のための自動ビジョンツールおよび/または光学顕微鏡で構成することができ、高度な画像解析および欠陥認識のためのさまざまなソフトウェアオプションが含まれています。さらに、このモデルは、業界標準との互換性を確保するためにカスタマイズされたパラメータでアップグレードすることができます。全体として、THERMA-WAVE OP 2600は、ウェーハ特性を正確に測定および分析するための包括的で手頃な価格のソリューションです。これは、高い再現性と信頼性で正確な結果を提供するために、最先端の計測およびイメージング技術で設計されています。さまざまなウェハ製造アプリケーションに適しており、品質管理とプロセス最適化のための効率的なソリューションを提供します。
まだレビューはありません