中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9212477 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は、単一の統合パッケージで包括的な計測測定を提供するウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、X線、光学、レーザーベースの技術を使用して、製造のさまざまな段階で半導体ウェーハを正確に検査および測定します。KLA OP 2600は、高精度で再現性のある測定結果を得るための安定した測定環境を提供する大型の自動測定チャンバを備えています。このユニットは、レーザー駆動の光プロジェクションを使用して、ウェーハ上の重要な特徴とフォトマスクを定義するパラメータと詳細な寸法を読み取り、比較します。また、X線検査技術を活用したウェーハ表面の高解像度画像を取得し、表面仕上げ、形状、フィーチャー寸法、表面清浄度などの特性を詳細に評価します。この装置は、幅広いウエハサイズで迅速かつ包括的なチップ測定および試験機能を提供するため、半導体製造プロセスでの使用に適しています。このツールは、レーザースキャン顕微鏡、走査電子顕微鏡、原子力顕微鏡の機能を追加することにより、容易に拡張できるように設計されています。内蔵のソフトウェア機能には、データ処理、欠陥認識、測定、比較が含まれます。TENCOR OP 2600は直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、検査されたウェーハの3D画像を素早く簡単に生成できます。また、GUIは分析やデータ出力へのアクセスを提供し、品質管理や研究活動を支援します。この資産は、ウェーハテストおよび計測業界で最高のISO基準を満たしており、自動化された正確な計測を実施したいお客様に向けて設計されています。THERMA-WAVE OP 2600は、半導体製造プロセスにおける品質管理のベンチマークです。最新のレーザー技術とX線技術を駆使し、計測精度と再現性に優れています。この装置により、ウェーハ検査や計測に必要な時間とコストを大幅に削減しながら、再現性と信頼性の高い測定結果を実現できます。