中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9200134 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600は、半導体製品の正確で再現性のある測定を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムでは、フォトリソグラフィーCD、ダイシングライン幅、オーバーレイ登録など、半導体ウェーハの幅広いパラメータを測定するために、統合された2レーザー白色光フェーズシフト干渉計を使用しています。半導体デバイスの電気特性を測定することも可能です。KLA OP 2600にはいくつかの機能があり、幅広いパラメータを測定するのに最適です。ウェーハパターンを正確に測定できる高解像度CCDカメラと、幅広いパラメータを迅速かつ信頼性の高い解析が可能な強力なマイクロプロセッサを搭載しています。このツールには、ほとんどすべてのサイズまたは形状のウェーハに対応できるモジュラー型プレートテーブルも含まれており、さまざまなパラメータを測定するさまざまな光学部品を装備することができます。TENCOR OP 2600は、さまざまなソフトウェアパッケージを使用して、画像処理プログラム、電気特性の分析、オーバーレイ登録の分析など、生成されるデータを分析します。アセットはユーザーフレンドリーであり、ユーザーにそれが生成するデータのさまざまなグラフィカルおよび表形式の表現を提供します。また、モデルが正しく機能していることを確認するためのさまざまな診断ツールも提供しています。THERMA-WAVE OP 2600は、ウェハテストと計測を行うための貴重なツールです。使いやすく、幅広いウェーハパラメータで信頼性の高いデータを生成します。これは、生産プロセスの評価だけでなく、新しいプロセスへの研究開発の両方に使用することができます。装置は、コンパクトで耐久性があり、信頼性の高い結果を迅速かつ正確に提供します。