中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293820412 を販売中
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ID: 293820412
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1997
Film thickness measurement system, 6"-8"
Measurement tool: BPR, BPE, VAS
SBC Board, CPU Pentium III 600 MHz
COGNEX 3000 Vision system
Robot
ESC200 Controller
1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600ウェーハ試験および計測機器は、ウェーハの分析および特性評価用に設計された統合計測プラットフォームです。メトロロジーサブシステムとテストサブシステムの2つの主要コンポーネントで構成されています。計測サブシステムには、ダイレベル画像を収集および分析するためのCCDステレオ顕微鏡が搭載されています。オートフォーカスシステム、オートキャリブレーションユニット、イメージハンドリングマシンを搭載しています。CCD出力は高度なパターン認識アルゴリズムを使用して解析され、ダイの高さ、切断位置、ダイの傾きなどの関連パラメータを決定します。試験サブシステムは、熱測定ツールと自動リーク検出アセットで構成されています。熱計測モデルは、低消費電力のIRビームをウェーハに送り、放出された熱エネルギーを測定することで、ウェーハの熱伝導率を測定します。自動リーク検出装置は、ウェーハ表面の亀裂やその他の欠陥を検出するように設計されています。高速スキャンレーザーを使用してウェーハの表面全体をスキャンし、障害を検出します。全体として、KLA OP 2600ウェーハテストおよび計測システムは、ウェーハ分析および特性評価のための強力で信頼性の高いプラットフォームです。オートフォーカスおよびキャリブレーションシステム、パターン認識アルゴリズム、熱測定および自動リーク検出システムにより、高い精度と精度を提供します。このプラットフォームを通じて、オペレータは、単一の統合計測ユニットを使用して、さまざまなウエハータイプを迅速かつ正確に分析および特性評価することができます。
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